集成电路创新技术
光子器件与集成技术
计算光刻中心
MEMS器件及系统
光子芯片是未来信息产业的重要基础,业界一直在寻找可规模制造光子芯片的优势材料。中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员欧欣领衔的团队在该领域取得突破性进展,他们开发出钽酸锂异质集成晶圆,并成功用其制作高性能光子芯片。欧欣介绍,不同于电子芯片以电流... 详细 >>
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